程序控温、N2和H2气氛
采用气体软压技术，压印均一性与一致性良好。可分别独立采用热压、紫外聚合，也可以将热压紫外聚合联合使用。主要使用领域：光子晶体、亚波长光学器件、OLED、生物微沟
纳米压印系统可进行热压印和紫外压印，实现图形的廉价、快速复制。
可以对金属、陶瓷等材料进行热压
该设备可用于诸如太阳能电池等器件的烧结工艺、退火工艺等工艺技术的研究
提高纳米材料、陶瓷材料等的致密性。
纳米及微米尺度图形压印制备
薄膜材料高温退火、烧结
硅片甩干（4"）
划片
TEM、SEM样品制备
