低温和强磁场下的物质的超精细结构研究
测定材料的Tg，评价材料的耐热性，耐寒或低温韧性及表征材料的阻尼特性等等
1、在温度范围下的任意温度测试气固反应及固相催化反应的反应速度； 2、监测MFB快速升温条件下的反应气相产物生成特性； 3、可偶联各种检测系统，分析反应级数
可测粘弹性材料在不同频率、不同温度、不同载荷下动态的力学性能,包括模量、Tg以及热变形温度等
Si3N4、多晶硅成膜（4"）
低应力Si3N4成膜(2"）
常规金属离子的测定
半导体外延材料生长
半导体薄膜淀积
材料生长
