厂商及型号
德国Zwick/Roell公司HEX01
性能参数
1、 基片最大尺寸：直径6英寸；2、 热压室真空度：≤1mbar；3、 热压时基片\模具加热温度：最大320℃；4、 最大压力：20KN；5、 热压室高度：20mm；6、 UV波长：365nm； 7、 UV最大功率：1.5mw/cm2； 8、 UV均匀度：5%； 9、 UV照射直径：150mm；10、 采用UV时最大加热温度：100℃；11、 采用UV时最大压力：10KN。
服务功能
纳米压印系统可进行热压印和紫外压印，实现图形的廉价、快速复制。
