纳米压印机(Hex-1)

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厂商及型号

德国Zwick/Roell公司HEX01

性能参数

1、 基片最大尺寸:直径6英寸;2、 热压室真空度:≤1mbar;3、 热压时基片\模具加热温度:最大320℃;4、 最大压力:20KN;5、 热压室高度:20mm;6、 UV波长:365nm; 7、 UV最大功率:1.5mw/cm2; 8、 UV均匀度:5%; 9、 UV照射直径:150mm;10、 采用UV时最大加热温度:100℃;11、 采用UV时最大压力:10KN。

服务功能

纳米压印系统可进行热压印和紫外压印,实现图形的廉价、快速复制。