光分步重复精缩机

面向全国服务的微米级光掩模版制造

光分步重复精缩机

面向全国服务的微米级光掩模版制造

调温调湿箱

温度范围0℃～100℃，湿度98%

制冷机超净装配系统

陀螺稳定平台

隔离扰动

热真空试验平台

各种热真空试验

显影机

光刻胶显影

显影机

光刻胶显影

显微光刀光镊系统

光谱扫描，透射率测量等

显微光刀光镊系统

光谱扫描，透射率测量等

多功能激光加工机

精密加工设备,可焊接,切割,大小空,做标记

吹扫捕集仪

样品前处理，快速收集样品中的挥发性有机物