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设备 / 实验室常用设备
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蒸发台

设备 实验室常用设备

蒸发Au，Pt，Al，Ti，Ni等介质
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磨抛机组

设备 实验室常用设备

用于后道工艺的芯片减薄
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ITO蒸发

设备 实验室常用设备

蒸镀ITO材料
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蒸发台

设备 实验室常用设备

各种金属蒸发
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蒸发台

设备 实验室常用设备

蒸发Au，Pt，Al，Ti，Ni等介质
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磨抛机组

设备 实验室常用设备

用于后道工艺的芯片减薄
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环境模拟试验平台

设备 实验室常用设备

环境模拟试验
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磨抛机组（四室）

设备 实验室常用设备

用于芯片的减薄，抛光。
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低温环境模拟测试装置(物质区域中心)

设备 实验室常用设备

1.2K～300K 低温环境模拟测试。
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等离子去胶机

设备 实验室常用设备

光刻胶去除
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涂胶显影机( 轨道系统)

设备 实验室常用设备

涂胶、烘片、显影（4"）
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显影机( 涂胶轨道系统)

设备 实验室常用设备

涂胶、烘片、显影（4"）
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