纳米科技研究和材料合成；大气研究和环境监测；燃烧和发动机排气研究；室内空气质量检测；成核研究/凝结研究；吸入毒理学研究
面向全国服务的亚微米级光掩模版制造
面向全国服务的微米级光掩模版制造
蒸镀各种金属材料
纳米量级图形曝光
各种金属蒸发
电子束曝光，微加工
工艺加工
高精度电子束曝光
制备掩模版
纳米尺度集成电路研制及纳米加工技术服务（主要用于联合开展的科研课题研究）
