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设备 / 实验室常用设备

电子束蒸发台

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厂商及型号

MODEL：Peva-600I ITO

性能参数

因应功率IC(Ti/Ni/Ag)及ⅢⅤ族砷化镓晶圆各种Lift-Off制程需求，将Throw Distance拉高至＞26-32吋；Run to Run膜厚均匀性可控制至＜±1%，以确保整体产品良率；最佳化蒸镀腔及排气系统设计，可有效降低Cycle time，并提升材料利用率；特殊设计的夹治具，针对薄片制程（<100微米），可靠度极佳

服务功能

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