电子束蒸发台

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厂商及型号

MODEL:Peva-600I ITO

性能参数

因应功率IC(Ti/Ni/Ag)及ⅢⅤ族砷化镓晶圆各种Lift-Off制程需求,将Throw Distance拉高至>26-32吋;Run to Run膜厚均匀性可控制至<±1%,以确保整体产品良率;最佳化蒸镀腔及排气系统设计,可有效降低Cycle time,并提升材料利用率;特殊设计的夹治具,针对薄片制程(<100微米),可靠度极佳

服务功能

工艺加工