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设备 / 实验室常用设备
筛选

电子束曝光系统(纳米区域中心)（三室A）

设备 实验室常用设备

高精度电子束曝光

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小型冻干机

设备 实验室常用设备

微量样品溶液进行快速冻干保存
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冻干机

设备 实验室常用设备

生物活性物质低温下的浓缩干燥
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扩散炉（lpcvd）

设备 实验室常用设备

Si3N4、多晶硅成膜（4"）
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扩散炉

设备 实验室常用设备

SiO2（TEOS,LTO）、高压氧化、多晶硅成膜（4"）
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扩散炉（平板CVD炉）

设备 实验室常用设备

干氧/湿氧氧化，退火，合金（4"）
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扩散炉（高温扩散炉）

设备 实验室常用设备

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扩散炉（PECVD）

设备 实验室常用设备

生长SiNx和SiO介质，做钝化层等
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扩散炉（lpcvd）

设备 实验室常用设备

Si3N4、多晶硅成膜（4"）
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扩散炉

设备 实验室常用设备

SiO2（TEOS，LTO）、高压氧化、多晶硅成膜（4"）
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扩散炉（平板CVD炉）

设备 实验室常用设备

干氧/湿氧氧化，退火，合金（4"）
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扩散炉（高温扩散炉）

设备 实验室常用设备

干氧/湿氧氧化，退火，合金（3"）
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