电子束曝光机

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厂商及型号

日本电子JEOL JBX6A2

性能参数

该机主要用于大规模集成电路的掩模版制作,可在硅片上直接曝光。也可用于一些特殊器件和特种加工制造的研究和开发

服务功能

高精度电子束曝光