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厂商及型号
Peva-600/ITD
性能参数
质量流量控制器：反应和等离子体辅助惰性气体控制；离子源和控制器：等离子体辅助沉积；射频电源：基底预先处理；温度控制器：基底加热；系统冷却
服务功能
工艺加工
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