电子束蒸发系统

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厂商及型号

Peva-600/ITD

性能参数

质量流量控制器:反应和等离子体辅助惰性气体控制;离子源和控制器:等离子体辅助沉积;射频电源:基底预先处理;温度控制器:基底加热;系统冷却

服务功能

工艺加工