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坚硬样品快速粉碎

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工艺加工

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工艺加工

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工艺加工

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工艺加工

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工艺加工

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在各种切削刀具和成形刀具表面沉积氮化物或碳化物薄膜，使工具表面改性，增强零件的耐磨性和耐腐蚀性，延长工具寿命，改善工件表面的抗疲劳断裂性能

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多晶硅、Si3N4干法

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金属成膜（4"）

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纳米尺度集成电路研制及纳米加工技术服务（主要用于联合开展的科研课题研究工作）

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