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设备 / 实验室常用设备

反应离子刻蚀机

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厂商及型号

System 100

性能参数

有效工作区直径：Φ150mm；极限真空度：≤8×10-3Pa；工作压力：10～100Pa；刻蚀线条：1μm；刻蚀均匀性：±5%（Φ125mm以内）；漏气率：≤5×10-2Pa.L/S

服务功能

工艺加工
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