反应离子刻蚀机

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厂商及型号

System 100

性能参数

有效工作区直径:Φ150mm;极限真空度:≤8×10-3Pa;工作压力:10~100Pa;刻蚀线条:1μm;刻蚀均匀性:±5%(Φ125mm以内);漏气率:≤5×10-2Pa.L/S

服务功能

工艺加工