光刻机

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厂商及型号

MJB3

性能参数

适用φ100mm以下(最小尺寸为5×5mm),厚度5mm以下的各种基片(包括非圆形基片)的对准曝光;采用高均匀性的多点光源曝光头,使曝光分辨率大为提高;套刻精度高、速度快;可靠性高;特设“碎片”处理功能

服务功能

工艺加工