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LAB-18
性能参数
极限本底真空达到1.5X10^-7乇，溅射的片间、片内均匀性低于±5%；衬底加热最高达400℃，精确度±5℃，溅射铝的速率1.2μm/min，最大生产量；溅Al：60片/小时，1.0μm/片，碎片率0.2%
服务功能
工艺加工
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