多靶溅射台

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厂商及型号

LAB-18

性能参数

极限本底真空达到1.5X10^-7乇,溅射的片间、片内均匀性低于±5%;衬底加热最高达400℃,精确度±5℃,溅射铝的速率1.2μm/min,最大生产量;溅Al:60片/小时,1.0μm/片,碎片率0.2%

服务功能

工艺加工