在各种切削刀具和成形刀具表面沉积氮化物或碳化物薄膜，使工具表面改性，增强零件的耐磨性和耐腐蚀性，延长工具寿命，改善工件表面的抗疲劳断裂性能
多晶硅、Si3N4干法
金属成膜（4"）
纳米尺度集成电路研制及纳米加工技术服务（主要用于联合开展的科研课题研究工作）
SiO2干法刻蚀（4"）
多晶硅、Si3N4干法刻蚀（4"）
单/双面光刻
离子注入掺杂
SiO2，Si3N4成膜
硅片的图形光刻（4"），机器的分辨率：2mm；曝光均匀性：<±3%；对准精度：<±0.1mm；线宽均匀性：<2mm±0.2mm
