纳米及微米尺度图形压印制备
薄膜材料高温退火、烧结
提高纳米材料、陶瓷材料等的致密性。
硅片甩干(4")
划片
TEM、SEM样品制备
TEM样品制备
硅片甩干(4")
划片以及清洗设备。可以提供6英寸以下及不规则Si、GaAs、SiC、InP衬底划片以及清洗工艺。
用于透射电镜样品的制备。
将进行过初步加工的样品通过离子束小角度轰击,最终成为电镜可用的样品。