离子减薄仪

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厂商及型号

Leica EM RES101

性能参数

技术参数 1 真空系统 最高真空:<5×10-6mbar 2 离子源 2.1 两支无磁性离子枪,每支离子枪可独立调节 2.2 离子能量:1~ 10KeV 2.3 离子电流:>200mA(每离子源) 2.4 离子源电流:0.5 ~ 3.5mA(每离子源) 2.5 离子电流密度:10mA /cm2(每离子源) 2.6 反应气体:氩气 2.7 气体流:<1sccm/自动控制离子源气流 2.3 角度设置 3.1 枪倾斜度:±45° 3.2 样品台倾斜度:-5°~ 210

服务功能

将进行过初步加工的样品通过离子束小角度轰击,最终成为电镜可用的样品。