厂商及型号
Leica EM RES101
性能参数
技术参数
1 真空系统
最高真空：<5×10-6mbar
2 离子源
2.1 两支无磁性离子枪，每支离子枪可独立调节
2.2 离子能量：1～ 10KeV
2.3 离子电流：>200mA(每离子源)
2.4 离子源电流：0.5 ～ 3.5mA(每离子源)
2.5 离子电流密度：10mA /cm2(每离子源)
2.6 反应气体：氩气
2.7 气体流：<1sccm/自动控制离子源气流
2.3 角度设置
3.1 枪倾斜度：±45°
3.2 样品台倾斜度：-5°～ 210
服务功能
将进行过初步加工的样品通过离子束小角度轰击，最终成为电镜可用的样品。
