划片机组(四室A)

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厂商及型号

DAD321 + DCS141

性能参数

芯片厚度:<700μm。

服务功能

划片以及清洗设备。可以提供6英寸以下及不规则Si、GaAs、SiC、InP衬底划片以及清洗工艺。