噪声系数分析仪

雷尼绍XL80激光干涉仪测量系统

XL80激光干涉仪为业界提供了性能更为先进,应用更为广泛,更加轻巧便携的计量检测利器: 检测速度从每小时几个微米到每分钟240米(仍以分辨率0.001 um记数

台阶仪

根据需求匹配

光学轮廓仪

观察器件的三维形貌，表面，膜厚，粗糙度等

13.8033K~273.16K温度计标准装置(物质区域中心)

13.8033K～273.16K 温度计元件检定，校准和测试,如铂电阻、热敏电阻、碳电阻、碳玻璃电阻、硅二极管、镍铬／金铁热电偶、铜／康铜热电偶等。

0.65K~24.5561K 温度计标准装置(物质区域中心)

0.5K～30K 温度计元件检定，校准和测试如：铑铁电阻,镍铬／金铁热电偶，锗电阻，铂电阻，碳电阻，碳玻璃电阻，硅二极管，铜／康铜热电偶等。

台阶仪（八室A）

测量物体表面的台阶高度、粗糙度等物理参数

光学轮廓仪（八室A）

测量样品表面粗糙度，主要针对光滑表面

台阶仪(D-120)

台阶测量

4通道噪声与振动测量系统[四通道]

是一套用于声学和振动分析研究的多通道测试系统

12通道噪声和振动测量系统[SQLa b]

是一套用于声学和振动分析研究的多通道测试系统

台阶仪（九室A）

旋涂光刻胶及各种薄膜的表面粗糙度，沟槽特征结构的轮廓、台阶高度及宽度