光学轮廓仪

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厂商及型号

NT9100M

性能参数

垂直分辨率<0.1nm,RMS重复率:0.05nm,测试的台阶高度精确度0.8%,1σ重现性0.1%

服务功能

观察器件的三维形貌,表面,膜厚,粗糙度等