工件表面粗糙度测量
试剂称量
测重量
接触热阻测试中需要对接触面大小和粗糙度评价,以确定不同粗糙度对接触热阻的影响
温度固定点装置,均为国际温标定义的固定点,是对标准温度计进行检定和期间核查的必备设备,也是开展国际比对的有效工具和手段
SiO2、Si3N4膜厚度测量
薄膜厚度和折射率测量