实现多种材料表面粗糙度测量
实现纳米级位移测量
实现光学系统低频波像差检测
大地测量
用于坐标测量及几何量测量
测量平面镜、透镜的面型、传输波前、MTF等
水平仪水平度校准
激光跟踪仪空间坐标校准； 全站仪距离校准
激光线宽测试
光学元件低频表面粗糙度检测
用于光学元件表面面形、表面损伤的检测以及台阶面形测量
实时监测、标定掩模台运动
