雷尼绍XL80激光干涉仪测量系统

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厂商及型号

XL-80

性能参数

系统精度:±0.5ppm (0~40 ℃整个工作环境范围) 激光稳频精度:±0.05ppm 分辨率:0.001 um 最大测量速度:4.0m/sec 最高采样频率:50KHz 测量范围:0 - 80 metres (在长距光学镜配合下) 预热时间:~6分钟

服务功能

XL80激光干涉仪为业界提供了性能更为先进,应用更为广泛,更加轻巧便携的计量检测利器: 检测速度从每小时几个微米到每分钟240米(仍以分辨率0.001 um记数); 采样频率从静态到每秒50000个数据点(仍以分辨率0.001 um记数); 测量范围从数纳米的微观尺寸到80米的大尺寸测量;