厂商及型号
XL-80
性能参数
系统精度：±0.5ppm (0~40 ℃整个工作环境范围) 激光稳频精度:±0.05ppm 分辨率：0.001 um
最大测量速度：4.0m/sec
最高采样频率：50KHz
测量范围：0 - 80 metres （在长距光学镜配合下）
预热时间：~6分钟
服务功能
XL80激光干涉仪为业界提供了性能更为先进,应用更为广泛,更加轻巧便携的计量检测利器: 检测速度从每小时几个微米到每分钟240米(仍以分辨率0.001 um记数); 采样频率从静态到每秒50000个数据点(仍以分辨率0.001 um记数); 测量范围从数纳米的微观尺寸到80米的大尺寸测量;
