台阶仪(九室A)

浏览次数

135

收藏次数

0

接洽次数

0

厂商及型号

Bruker Bruker Dektak XT

性能参数

探针尖半径(Stylus):2.0 μm, 0.7 μm 厚度测量范围(Vertical scan range): up to 1 mm 探针作用力(Force):1 ~ 15 mg 扫描长度(Scan length):50 μm ~ 55 mm 视场范围(Field of view):1 ~ 4 mm 台阶高度重复性(Step height repeatability):< 5 ? 垂直方向分辨率(Vertical resolution):1 ? (for 6.55 mm measurement range) 测量样品最大尺寸(Sample compatible):150 mm

服务功能

旋涂光刻胶及各种薄膜的表面粗糙度,沟槽特征结构的轮廓、台阶高度及宽度