厂商及型号
Bruker Bruker Dektak XT
性能参数
探针尖半径(Stylus)：2.0 μm, 0.7 μm
厚度测量范围(Vertical scan range)： up to 1 mm
探针作用力(Force)：1 ~ 15 mg
扫描长度(Scan length)：50 μm ~ 55 mm
视场范围(Field of view)：1 ~ 4 mm
台阶高度重复性(Step height repeatability)：< 5 ?
垂直方向分辨率(Vertical resolution)：1 ? (for 6.55 mm measurement range)
测量样品最大尺寸(Sample compatible)：150 mm
服务功能
旋涂光刻胶及各种薄膜的表面粗糙度，沟槽特征结构的轮廓、台阶高度及宽度
