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在片测试

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8寸/12寸集成电路产品WAFER测试流水线

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根据需求匹配

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用于器件的电学测试

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用于8寸、6寸和4寸晶片的在片测试，最多可提供8根直流探针和2根20GHZ/ 40GHZ射频探针，亦可使用有源射频探针进行内核电路测试。

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用于12寸、8寸、6寸、4寸、2寸晶片的在片测试，最多可提供8根直流探针和2根20GHZ/ 40GHZ射频探针，亦可使用有源射频探针进行内核电路测试。

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该设备用于测试功率器件的瞬态热阻、稳态热阻

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与半导体参数测试仪一起使用，测量硅片，提取特性参数

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测试半导体特性参数，包括直流特性参数，脉冲特性参数和电容特性参数

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配合矢量网络分析仪或者其他仪器测试晶圆级器件的射频特性

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配合其他仪器测试8寸Wafer、IC的直流特性

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直流电流检测

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