变温探针台

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厂商及型号

PA300-9/IS

性能参数

温度范围:-60℃-300℃,温度分辨率:0.01℃,XY方向行程:305mm×305mm,Z方向行程:25mm,移动分辨率:±0.5um

服务功能

用于器件的电学测试