射频电源

工艺实验配套

霍尔参数测试系统

检测

朗谬耳探针

等离子体诊断

扫描探针显微系统

薄膜表面形貌测试

朗谬耳探针

离子注入掺杂（As、B、P等）

高精直流电源

多探针-拉曼联合测试系统

对各种样品进行成像，包括包面形貌，SNOM测量，热导成像和电导成像，以及拉曼光谱和拉曼联合成像

测试系统(热阻)

测试功率三极管、功率MOS器件、IGBT等功率器件热阻参数

探针台

电性测量

多参数磁性测量系统(PPMS)

1、直流、交流电输运；2、Hall效应测量；3、直流、交流磁化率；4、热容量；5、热传导；6、磁转矩转动样品台（360°旋转）：电输运、Hall效应、磁转矩；H

测试系统(热阻)

测试功率三极管、功率MOS器件、IGBT等功率器件热阻参数

CASCADE探针台