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厂商及型号
UF3000
性能参数
综合精度：2um以内 X-Y轴 行程X:±170mm(XY轴探测范围)；速度X轴:300mm/s， Y轴:230mm/s Z轴 行程37mm，速度30mm/s θ轴 旋转角度±5
服务功能
8寸/12寸集成电路产品WAFER测试流水线
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