探针台

浏览次数

603

收藏次数

0

接洽次数

0

厂商及型号

UF3000

性能参数

综合精度:2um以内 X-Y轴 行程X:±170mm(XY轴探测范围);速度X轴:300mm/s, Y轴:230mm/s Z轴 行程37mm,速度30mm/s θ轴 旋转角度±5

服务功能

8寸/12寸集成电路产品WAFER测试流水线