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设备 / 电子电工仪表

微探针台(模块、PCB) （九室A）

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厂商及型号

Cascade SUMMIT 11000 B-S

性能参数

具有200mm的晶圆探测能力； 可用于器件的RF特性测试、晶圆级可靠性测试； 通过安装不同规格的探针，可测试具有不同线距（50μm-1250μm ）、不同结构的传输线，如GS/SG、GSG、GSSG等。

服务功能

配合矢量网络分析仪或者其他仪器测试晶圆级器件的射频特性
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