需要将被测元件或试样温度控制在某一温度范围内时,是控温的必备设备
进行高精度的必备设备
文件加密与保护
在邮件客户端的对邮件进行加密保护
指纹生成与实验测试
指纹识别算法的研究
智能监控平台、服务行业应用
原子层沉积系统目前可生长高K的氧化铝及氧化铪薄膜,样品最大4英寸,膜厚均匀性优于1%。
包括磁控溅射、离子束溅射与脉冲激光沉积三种不同工作模式的薄膜沉积方式以及离子刻蚀。具有超高真空的工作环境,高质量的薄膜沉积生长及生长过程的监控、控制及处理。
8英寸腔体
该原子沉积系统主要用于材料的薄膜制备,应用领域包括晶体管栅极介电层、金属栅电极、半导体纳米材料薄膜制备等。