光束质量
光束质量分析
放电发展过程瞬时拍摄;发射光谱记录
离子注入掺杂(As、B、P等)
掺杂
离子注入掺杂
该设备由控制系统、真空系统、气路系统、射频电源、反应室等五部分组成。
人工模拟降雨
Si3N4、SiO2成膜(4")