对大量在紫外及可见波长范围没有吸收的有机化合物的光化学进行研究，也可对在紫外-可见波长范围有吸收的有机化合物的高级激发态的光化学进行研究，探讨深紫外光化学反应、
紫外曝光，微加工
用于III-V族、II-VI族和硅锗及其氧化物、氮化物等压电材料和压电光电子材料微纳结构的制备。
光谱监测
Si3N4、多晶硅成膜（4"）
低应力Si3N4成膜(2"）
常规金属离子的测定
半导体外延材料生长
半导体薄膜淀积
材料生长
