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厂商及型号
美国Cambridge NanoTech Inc. Savannah-100
性能参数
原子层沉积系统目前可生长高K的氧化铝及氧化铪薄膜，样品最大4英寸，膜厚均匀性优于0%。
服务功能
原子层沉积系统目前可生长高K的氧化铝及氧化铪薄膜，样品最大4英寸，膜厚均匀性优于1%。
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