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原子层沉积系统

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厂商及型号

PICOSUN / SUNALE? R-200

性能参数

1.前驱体源: 具有六根独立源管线，最大加载十二个前驱体源 2.基片尺寸： ≤ 8英寸基片

服务功能

该原子沉积系统主要用于材料的薄膜制备，应用领域包括晶体管栅极介电层、金属栅电极、半导体纳米材料薄膜制备等。
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