LPCVD

浏览次数

765

收藏次数

0

接洽次数

0

厂商及型号

Koyodo G-2627

性能参数

片内均匀性:<±3%;片间均匀性:<±10%;薄膜应力:<100MPa;温度:≤1000oC

服务功能

低应力Si3N4成膜(2")