可用于功率器件击穿电压、阈值、导通电阻、栅极漏电、漏极漏电、跨导、脉冲电流、源漏二极管正向压降等参数的测量
剩余电阻测试的电测系统
测温电桥配套
直流电阻率;交流电输运(电阻率、霍尔效应、I-V特性、临界电流);交流磁化率;直流磁化强度;磁扭矩;比热;热输运(热导率、seebeck系数、品质因子)。
交流、直流绝缘特性和击穿电压测试
多功能接地电阻测量仪
电容、电感、电阻等电参数测量及频率响应
用于材料和器件电容-电压电性能的测试
用于CMOS器件的电流-电压特性测试,提取器件的栅介质漏电,饱和/截止态(Ion-Ioff)电流,亚阈值漏电与斜率等电学参数,同时可以测试其击穿电压
该设备用于测试功率器件的静态参数,如击穿电压、阈值电流、漏电流、导通电阻等
提供多通道实时带式记录仪多道生理记录仪,X-Y绘图仪,数字电压计和记录示波器的全部功能。可以对数据进行记录观察和实时分析,还可以进行存储便于以后进一步查阅或分析
去除半导体器件表层的钝化层,光刻胶,硅膜以及玻璃基板的表面清洗