项目简介
微电子装备产业是信息技术产业的重要基础，具有国家战略意义。微细图形的形成在微纳加工技术中属最复杂的尖端技术，世界各大半导体公司均对此极为重视。其中，刻蚀技术是集成电路制造、MEMS加工及其他核心器件加工中不可或缺的重要工序之一。国际市场上不断涌现的新型工艺对集成电路装备的创新能力建设要求也提到了一个新高度。这些半导体工艺设备需要使用大量的射频发生器系统，而射频发生器系统属于IC制造的易耗件，达到一定使用年限后需要维护或更换，因此射频发生器系统在国内IC制造业的市场需求非常大。
在国家02专项的支持下，受益于国际金融风暴对西方大国的影响，中国的IC装备业正在逐步崛起，各类半导体工艺设备已经开始或即将进入主流生产线，与国外设备厂商展开全面竞争。项目组开发的产品属微电子技术装备，为我国的极大规模集成电路产业提供达到国际一流水准的创新型核心装备。产品已经广泛应用于高校科研院所的半导体工艺设备，如清华大学、香港理工大学、北京师范大学等等，而且正在逐步进入中国的IC装备业，目前已经与北方微电子、中微半导体、沈阳拓荆、七星华创建立了合作关系，即将为这些国内顶级IC厂商提供达到国际一流水准的创新型固态射频电源，提升这些厂商整机设备的本土产品配套率。
应用领域
本项目将以此为基础，立足北京高端装备产业基础和优势，瞄准北京高端装备的数字化和智能化方向发展，提升产业核心竞争力，同时瞄准工业转型升级的战略重点。
