集成化高性能射频MEMS谐振器件

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项目简介

  射频MEMS谐振器件是基于半导体微纳加工技术制备的高性能、集成化硅基时钟器件,具有低功耗、低成本、可与IC集成等优势。

  为高性能MEMS谐振器、振荡器等射频谐振器件的产业化,打破国外公司的技术垄断,项目组国内首次设计实现具有高频、高Q特性的MEMS谐振器、振荡器、滤波器等器件;开发了高成品率CMOS兼容制造技术,可直接转移代工厂。MEMS谐振器、振荡器是石英晶振的升级换代产品,市场前景广阔。

应用领域

  MEMS谐振器和振荡器在电子系统中提供时钟基准,是对石英产品的升级换代,正以120%的年增长率,逐渐取代石英晶体振荡器,几乎所有的电子产品系统都需要多个时钟器件。MEMS振荡器产品已经广泛应用于消费电子领域,如智能手机、电子手环、视频监控、摄录机、机顶盒、音响设备等;通信领域,如以太网转换器、路由器、基站等。MEMS振荡器已经被应用于iPhone手机中作为时钟芯片。全球数以亿计的智能设备,给MEMS振荡器创造了巨大的市场机会。

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