探针台

电性测量

多参数磁性测量系统(PPMS)

1、直流、交流电输运；2、Hall效应测量；3、直流、交流磁化率；4、热容量；5、热传导；6、磁转矩转动样品台（360°旋转）：电输运、Hall效应、磁转矩；H

测试系统(热阻)

测试功率三极管、功率MOS器件、IGBT等功率器件热阻参数

CASCADE探针台

射频探针台

在片测试

探针台

8寸/12寸集成电路产品WAFER测试流水线

微动探针台

根据需求匹配

变温探针台

用于器件的电学测试

手动探针台

用于8寸、6寸和4寸晶片的在片测试，最多可提供8根直流探针和2根20GHZ/ 40GHZ射频探针，亦可使用有源射频探针进行内核电路测试。

高低温半自动探针台

用于12寸、8寸、6寸、4寸、2寸晶片的在片测试，最多可提供8根直流探针和2根20GHZ/ 40GHZ射频探针，亦可使用有源射频探针进行内核电路测试。

热阻测试系统

该设备用于测试功率器件的瞬态热阻、稳态热阻

探针台（一室）

与半导体参数测试仪一起使用，测量硅片，提取特性参数