工艺实验配套
电源(UPS)
射频电源
检测
等离子体诊断
薄膜表面形貌测试
离子注入掺杂(As、B、P等)
对各种样品进行成像,包括包面形貌,SNOM测量,热导成像和电导成像,以及拉曼光谱和拉曼联合成像
测试功率三极管、功率MOS器件、IGBT等功率器件热阻参数