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光分步重复精缩机

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厂商及型号

GCA3696

性能参数

主要应用于微米级工作掩模版制造；最小线宽1.25微米；掩模版尺寸：2-5英寸；精度+-0.25微米

服务功能

面向全国服务的微米级光掩模版制造
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