专用集成脉冲IV测量系统

中国科学院微电子研究所   微电子器件与集成技术重点实验室

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项目简介

随着器件尺寸的缩小,器件通常在应力下会产生缺陷和损伤,器件可靠性成为新型器件测量分析的难点问题。为了解决此类问题,急需专用集成脉冲IV测量系统。本项目关键技术和创新点:快速电流提取方案;波形合成技术;高速数据采集和处理;频率补偿,负载补偿;宽量程的无继电器切换技术。

应用领域

半导体测试测量专用设备是器件及芯片研究的必备设备,随着器件进一步缩小,可靠性问题日益突出,这种设备的价值也逐渐增加。所面临的用户主要是高校/研究生以及半导体公司和代工厂;在集成电路成为制约因素的今天,发展半导体测试设备将具有良好的前景。

 

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