项目简介
随着器件尺寸的缩小，器件通常在应力下会产生缺陷和损伤，器件可靠性成为新型器件测量分析的难点问题。为了解决此类问题，急需专用集成脉冲IV测量系统。本项目关键技术和创新点：快速电流提取方案；波形合成技术；高速数据采集和处理；频率补偿，负载补偿；宽量程的无继电器切换技术。
应用领域
半导体测试测量专用设备是器件及芯片研究的必备设备，随着器件进一步缩小，可靠性问题日益突出，这种设备的价值也逐渐增加。所面临的用户主要是高校/研究生以及半导体公司和代工厂；在集成电路成为制约因素的今天，发展半导体测试设备将具有良好的前景。
