真空系统漏气检测
检测容器漏率
用于测定平均粒径及Zeta电位
对密闭空间加压,检测大于5×10-13Pa.m3/s的泄露
检测密闭空间漏率
专门针对集成电路等电子元器件进行粗检的检漏装置
专门针对集成电路等电子元器件进行细检和粗检的一套自动化检漏装置
三维内部微结构无损检测
该检漏装置上装有PLC(可编程程序控制器),对整个检漏过程可以进行自动控制和运行,防止误操作和提高检漏效率 专门针对集成电路等电子元器件进行粗、细检的检漏装置
接触角