光刻准分子激光光源项目

  中国科学院光电研究院

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项目简介

集成电路是我国最大宗的进口产品,光刻机是集成电路产业最核心关键的装备,也是我国产业发展的瓶颈,准分子激光光源是高端光刻机的核心也是唯一选择,是大规模集成电路产业的“源动力”。

准分子激光器是波长在紫外波段的脉冲气体激光器,国际上仅有两家公司生产光刻准分子光源,且垄断了产品和知识产权;2009年之前国内在准分子激光领域研究工作和知识产权基本处于空白,光电院团队在02专项的支持下,完成面向90nm曝光节点的20W 4kHz 光源研发,并实施自主知识产权战略布局,授权发明专利达60项(国际发明专利4项),系统地构建了较为完整的专利池,为我国光刻光源产业发展提供知识产权保障。

应用领域

产品主要应用领域为集成电路光刻、液晶面板退火、医疗等领域。每年新增产品量数十亿美元,存量的维修维护市场量基本持平。随着物联网、互联网和智能硬件的逐步升级,市场需求量还将进一步扩大。

 

 
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