项目简介
关键技术在于声表面波气敏机制、传感器件拓扑结构优化以及系统集成与环境适应性等关键技术。其创新性在于：利用声表面波对质量负载等作用机制的快速高灵敏响应，并结合传感阵列与模式识别方法，实现对多目标气体准确、快速的现场监测；传感器件采用平面光刻微纳工艺而“小型化”和“低成本”。目前已完成针对化学毒剂及以H2S、NO2、CH4、H2以及NH3等工业毒害气体的传感器件及系统的原型样机研制。快速、高灵敏、小型化和低成本等特点使其在环境、工业、矿井安防、公共安全及突发事件应急处置等领域具有很高的应用价值与前景。
应用领域
本项目主要用于环境监测、工业、矿井安防、公共安全及突发事件应急处置等领域的毒害气体现场监测。利用声表面波气体传感技术的快速、高灵敏、微纳器件结构及低功耗等特点，可解决现有气体传感技术在抗干扰能力、安全性、多目标气体监测能力、功耗等方面存在的突出问题，特别适应于环境、工业流程、矿井安全生产防护，防化及公共安全应急处置中的多目标毒害气体的点源监测应用场景。
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