衍射和小角散射实验站

扫描电镜

SEM检测

冷场发射扫描电镜

材料形貌分析

三维透射电镜

明暗场像，电子衍射，EELS，三维重构

CCD

透射电镜

表征物质内部结构

高速CCD

TEM数据采集

低速CCD

TEM数据采集

扫描电镜

物质表面结构表征

透射电镜

表征物质内部结构

场发射扫描电镜

物质表面结构表征

场发射扫描电镜

该仪器具有超高分辨率，能做各种固态样品表面形貌的二次电子像、反射电子像及图像处理。，配有高性能X射线能谱仪，能同时进行样品表层的微区成分的定性、半定量和定量分析