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设备 / 光学仪器

场发射扫描电镜

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厂商及型号

XL30 S－FEG

性能参数

最高成像分辨率：15，加速电压：0-30KV，放大倍数：100倍－80万倍，工作距离：1-50mm，倾斜角度：-7度-45度，X射线能谱分辨率：130ev，分析范围:B-U

服务功能

该仪器具有超高分辨率，能做各种固态样品表面形貌的二次电子像、反射电子像及图像处理。，配有高性能X射线能谱仪，能同时进行样品表层的微区成分的定性、半定量和定量分析，获得元素的分布图
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