短相干光学检测仪器研发与产业化

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项目简介

高端光学检测设备具有可溯源、精度高、稳定性好和无接触等优势,是高端检测设备的重要组成部分。我国制造业对高端光学检测设备的需求量巨大。但是光学检测设备起步较晚、技术相对分散、不掌握核心器件和技术,导致我国高端光学检测设备与国外相比,技术差距较大。本项目瞄准工业和高新技术领域对光学精密检测设备的需求,开发短相干光学检测仪器,仪器采用具有完全自主知识产权的全视场外差移相技术,能够实现光学平行平面元件面形的高精度快速测量,具有不受多面干涉混叠影响、抗环境干扰能力强、可测量各类反射率元件等优势,且核心元器件自主可控,可形成一批核心专利和技术标准,能解决高端制造精密检测的“卡脖子”难题,具有广阔的应用空间和市场发展前景。

应用领域

可有效支撑高端装备制造产业跨越发展,加快新技术、新产品产业化应用,抢占工业检测、高端装备智造等产业发展制高点。

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