光MEMS声传感器与空气声雷达

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项目简介

空气声雷达是一种由声传感器阵列构成的被动式空气声探测与声定位装备,适用于低小慢飞行物的搜索、识别、定位、跟踪和预警,具有无电磁辐射,隐蔽性强,无探测盲区、可全天候工作的优点。现有的空气声雷达由驻极体电容式传声器组成,这种声传感器灵敏度较低,相位一致性较差,抗电磁干扰能力较弱、信号需用同轴电缆传输等不足,直接导致空气声雷达探测距离短,定位精度差,传输线缆多,易受电磁干扰等致命缺点。驻极体电容式传声器经过数十年发展,制备工艺非常成熟,其性能指标已无提升空间,它已经成为制约空气声探测装备发展的瓶颈。为了对现有空气声探测装备进行更新换代,需要研发全新的空气声传感器。

应用领域

光MEMS声传感器是一种利用MEMS技术制备的硅基微结构光学声传感器,具有制作成本低、灵敏度高,相位一致性好,抗电磁干扰,能够在恶劣电磁环境下安全工作等优点。本项目面向“低、小、慢”飞行物的全天候、无死角声探测与声定位以及单兵携带声探测装备的军事需求,研制硅基光MEMS声传感器,突破传感器实用化关键技术,建立抗干扰声定位算法,实现基于光MEMS声传感器的新型空气声雷达样机。

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