项目简介
本台设备是面向电力电子器件和生物化石应用仪器样机。目前电力电子器件多数为印刷电路板上焊接元件的形式，而大自然中的生物化石由于岩层挤压的缘故多数亦为板状，传统同轴CT系统在板状样本扫描中存在侧方难以穿透的问题，而采取CL扫描方式可以较好的解决这一问题。
该设备实现了大型板状样本的高分辨CL扫描方式，实现了高分辨率下的大视野扫描，样本空间自由度大，扫描样本大小限制较小，扫描倾角和样本运动自由度高，可实现多种扫描形式，已实现直线式CL扫描，旋转式CL扫描和平移式DR扫描。
应用领域
智能制造和新材料产业。该设备可应用于大型电路板上的器件焊接、封装和多余物的无损检测，以及其他板状样品的断层扫描，获得三维图像。
